设备名称：质量流量控制器标定设备

适用研究方向：面向MFC生产厂家及需要大批量测试MFC性能的量产及研发部门

设备功能：设备通过触摸屏工控机宇用户交互界面，只需用户执行装卸任务，并选择接口形式，通过用户交互界面读取流量数据，并显示实时精度最终检测各项MFC指标。

技术特点：可实现多气体，多量程MFC的精度检测

       能够检测精度，重复精度，零漂等

       能实现多种接口形式的MFC检测

主要参数：流量范围：0-300SLM（可定制流量范围）

       压力范围：1MPa以下