设备名称：真空气体混合配气系统

适用研究方向：材料科学，气体传感器等

设备功能：设备通过气体配比流量进行稳定输出，也可按浓度配比输出。

技术特点：稀释比宽（2-5000倍稀释）

       可按浓度输出

       可根据用户需求定制气体种类及应用工况温度

主要参数：0-10SLM

气源要求：纯气或者标气

加热温度：室温-100°C

气体种类：N2、H2、O2、He、Ar、CH4、SO2、CO2、CO等气体

真空度：1*10-8Pa*M3/秒